Class 1000 (ISO 6) és Class 10000 (ISO 7) tisztatéri laboratórium 2-3 inch-es szilícium szelettechnológiával diódák, MOS áramkörök, érzékelők, újszerű eszközök, mikrofluidika és napelemstruktúrák kialakítására. Rendelkezésre álló technológiai lépések: fotolitográfia (1 um felbontás, kétoldalas illesztés), nedveskémia (tisztítás, izotróp és anizotróp marás), felületkezelés (O2, N2, Ar plazma), magashőmérsékletű folyamatok (oxidáció, adalékdiffúzió, hőkezelés), vákuumgőzölés (Al, Au, Ag, Ni, Ti, Cu), RF porlasztás (Pt, Pd, Ti, V, Ta, Al, Cu, Ag, Mo, Fe, Ni, SnO2, ZnO, Si, SiC, Sn-In, SiO2, Si3N4, Al2O3), centrifugás rétegfelvitel (SiO2, PDMS, SU-8), szitanyomtatás (Al, Ag).
Szilícium szeletek a diffúziós kályhában.
A laboratórium továbbá rendelkezik az előállított minták és eszközök minősítésére szolgáló eszközökkel: optikai mikroszkópok, SEM, mechanikus profilométer, terjedési ellenállásmérés, SPV és rezgőkondenzátoros felületi potenciáltérképezés, CV mérés, illetve projektspecifikus, egyedi mérési összeállítások, mint pl. napelemminősítő rendszerek (I-V és SR).
Adalékolt félvezető szubsztrát optikai vizsgálata a tisztatérben.
